金属有机化合物气相色谱分析研究Ⅰ──二乙基锌的气相色谱分析

报道了用于ＭＯＣＶＤ工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性．同时指出在严格实验条件下，二乙基锌能和一般有机物一样，从色谱柱上很好流出，并保证不分解。