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超高纯氮的制备 被引量:2

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摘要 本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法,以高纯氮为原料气,通过吸附、反应、过滤等工艺,进一步纯化,可得99.9999%的超高纯氮.
机构地区 北京市氧气厂
出处 《低温与特气》 CAS 1994年第2期37-40,共4页 Low Temperature and Specialty Gases
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