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超高纯氮的制备
被引量:
2
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摘要
本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法,以高纯氮为原料气,通过吸附、反应、过滤等工艺,进一步纯化,可得99.9999%的超高纯氮.
作者
陈书明
李义良
机构地区
北京市氧气厂
出处
《低温与特气》
CAS
1994年第2期37-40,共4页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
超高纯氮
低温吸附法
氮气
提纯
分类号
TQ116.15 [化学工程—无机化工]
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低温与特气
1994年 第2期
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