适用于CVD及表面冶金的等离子喷炬
被引量：1
A PLASMA TORCH FOR CVD AND SURFACE METALLURGY
摘要
介绍了一种新型的适用于化学气相沉积及表面治金的等离子炬，并对其设计原则及结构、性能进行了分析研究。该等离子炬具有阳极喷嘴直径大、等离子弧为均匀放电非转移柔性弧和输出热效率高等特点。
出处
《电镀与环保》
CAS
CSCD
1994年第1期22-24,共3页
Electroplating & Pollution Control
同被引文献4
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