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双极型集成电路表面质量的监测技术和系统
被引量:
1
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摘要
本文讨论了双极型集成电路表面质量的表征量,给出了这些表征量的测试方法,以及监测这些表征量测试系统的硬件和软件方框图,并列出了利用该系统所得到的测试结果.
作者
张德胜
顾瑛
赵策洲
机构地区
西安电子科技大学微电子所
出处
《电子产品可靠性与环境试验》
1994年第6期53-59,共7页
Electronic Product Reliability and Environmental Testing
关键词
双极型集成电路
集成电路
电子产品
质量
监测
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN431 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子产品可靠性与环境试验
1994年 第6期
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