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双极型集成电路表面质量的监测技术和系统 被引量:1

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摘要 本文讨论了双极型集成电路表面质量的表征量,给出了这些表征量的测试方法,以及监测这些表征量测试系统的硬件和软件方框图,并列出了利用该系统所得到的测试结果.
出处 《电子产品可靠性与环境试验》 1994年第6期53-59,共7页 Electronic Product Reliability and Environmental Testing
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引证文献1

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