磁盘表面精密测试技术

磁盘表面粗糙度测试技术与工业生产密切相关,在技术进步国家深受重视。本文在深入考察分析现代表面测量方法的基础上,对PZT调制光外差干涉法展开详尽分析研究,采用锯齿波驱动方案改造测量系统,可对磁盘表面粗糙度进行精确测定。