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半导体设备制造中的无尘生产技术
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摘要
本文叙述了制造半导体设备采用无尘生产技术的必要性、好处及具体做法。
作者
翁寿松
机构地区
无锡市元件四厂
出处
《电子工业专用设备》
1994年第1期34-35,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体器件
制造
设备
无尘技术
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
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