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我国半导体设备发展现状及前景展望
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摘要
本文扼要介绍了我国半导体设备发展现状,对“九五”期间的发展进行了预测。同时,通过对日本发展微电子技术和设备的分析,为发展我国半导体设备提出了建设性意见。
作者
谢中生
机构地区
电子工业部第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
1994年第2期4-10,共7页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体
设备
进展
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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