期刊文献+

国外半导体设备发展动态和市场趋势 被引量:1

下载PDF
导出
摘要 本文简要介绍了国外半导体设备发展的走向和特点,重点列举了关键工艺设备的代表产品发展状况,并阐述了国外半导体设备市场及投资趋势。
作者 谢中生
出处 《电子工业专用设备》 1994年第2期26-34,共9页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
  • 相关文献

同被引文献1

  • 1母国光,光学,1978年

引证文献1

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部