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国外半导体设备发展动态和市场趋势
被引量:
1
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摘要
本文简要介绍了国外半导体设备发展的走向和特点,重点列举了关键工艺设备的代表产品发展状况,并阐述了国外半导体设备市场及投资趋势。
作者
谢中生
机构地区
电子工业部第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
1994年第2期26-34,共9页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体
设备
市场
投资
进展
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
1994年 第2期
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