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双面对准曝光设备 被引量:3

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摘要 本文概括介绍了双面对准曝光机的应用范围、种类,着重介绍了我所研制的BG—703型双面对准曝光机的性能、结构特点及有关技术措施。
作者 高仰月
机构地区 电子工业部第
出处 《电子工业专用设备》 1994年第3期58-62,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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