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双面对准曝光设备
被引量:
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摘要
本文概括介绍了双面对准曝光机的应用范围、种类,着重介绍了我所研制的BG—703型双面对准曝光机的性能、结构特点及有关技术措施。
作者
高仰月
机构地区
电子工业部第
出处
《电子工业专用设备》
1994年第3期58-62,共5页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
双面对准曝光
曝光机
半导体
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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