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GM—101型自动滚磨机

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摘要ＧＭ—１０１型自动滚磨机电子工业部第４５研究所刘文平，田惠兰前言用直拉法或者区熔法提拉单晶时，籽晶杆周围由于温升和热量梯度造成杂质表面扩散等原因，使晶体内部和表面存在特性差异，提拉速度和多晶熔融温度不均匀造成单晶棒直径不匀，这就需要滚磨以便将单晶表面...

作者刘文平田惠兰

机构地区电子工业部第

出处《电子工业专用设备》 1994年第3期20-22,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 GM-101型滚磨机半导体自动控制

分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

1994年第3期

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