大面积移动式曝光及涂胶设备

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摘要大面积移动式曝光及涂胶设备电子工业部第４５研究所孔德生声表面波器件制造工艺，要求其曝光设备曝光面积大，均匀性高，具有很高的分辨率。但这种设备在国内尚属空白。为了满足这种器件的生产要求，我们研制了大面积移动式曝光机以及其配套使用的大面积滚动式涂胶机。现...

作者孔德生

机构地区电子工业部第

出处《电子工业专用设备》 1994年第3期63-65,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词声表面波器件移动式曝光涂胶设备

电子工业专用设备

1994年第3期

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