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微电子领域的一场革命微组装技术新星──MCM登场
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摘要
本文介绍了MCM的分类、用途和基板制作技术。并对组建MCM生产线所需的工艺设备作了简要论述。
作者
苏世民
机构地区
电子工业部第十三研究所
出处
《电子工业专用设备》
1994年第4期8-14,共7页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
MCM
基板制作技术
MCM生产线
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
1994年 第4期
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