摘要
本文研究了硅场发射阴极阵列的储存效应，发现长期储存会使其性能下降。
Storage effect of the silicon field emission cathode arrays is studied,That a longterm storage can decreaxe the performance of these cathode arrays is found.
出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期110-112,共3页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
国家自然科学基金和电子工业部电子科学研究院资助
关键词
硅场发射体
储存效应
真空微电子学
测试
Silicon field emitter,storage effect,vacuum microelectronics
