摘要
本文讨论了对场发射阵列(FEA)的实验数据利用线性回归的技术得到表征FEA器件特性的几个关键多数的方法。并将这种方法应用于我们自己的FEA器件样品。根据实验数据得到了器件的关键参数并证实了FEA对特性满足FowlerNoedheim方程。文章还对非线性因素对参数估计所带来的偏差问题进行了讨论。
A linear regression techmique for the extraction of critical parameters from emission data of FEA is presented,This technique is applied to the experimental data of our FEA samples.The parametaers are obtained and that the emission character is satisfied with Fowler Noedheimequation is verified,Finally the parameters estimation due to non-linear factors is alsoconsidered.
出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期25-27,共3页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
国家自然科学基金
关键词
场发射器件
线性回归技术
参数提取
Field emissiom device, linear regression technique,paremeter extraction