摘要
本文建立了个真空微电子器件场发射理论计算模型;
A computational model of field emission of vacuum microelectronic devices is establishek.The computational results of Spindt cathode by use of the model agree with theexperimental results.
出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期28-32,共5页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
国家自然科学基金和电子工业部电子科学研究院资助项目