钽／硅多层膜在550℃退火后的局域扩散反应

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摘要钽／硅多层膜在５５０℃退火后的局域扩散反应卢江，李凡庆，陈志文，谭舜，陆斌，张庶元，王路春，李齐（中国科技大学结构分析开放实验室，合肥２３００２６）（南京大学物理系）多层膜提供了一个具有大量界面的扩散、晶化、固相反应的系统。本文研究了在５５０℃退火后...

作者卢江李凡庆陈志文谭舜陆斌张庶元王路春李齐

机构地区中国科技大学结构分析开放实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第6期501-501,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词薄膜多层膜钽硅退火显微结构扩散

1黄荣芳,洪瑞江.多层膜层间界面形貌的分形维数表征[J].薄膜科学与技术,1992,5(1):36-45.
20.1μm器件以后的SR缩小光刻[J].光机电信息,1999,16(8):31-32.
3向专业扩散——奥林巴斯M．ZUIKO DIGITAL ED60mm F2．8 Macro和M．ZUIKO DIGITAL ED 75mm F1．8[J].新潮电子,2012(3):87-87.
4陈廉,刘中豪,李依依,胡壮麒.离子微探针研究氢在材料中行为的新进展[J].材料科学与工程,1993,11(4):7-15.
5李峻柏.走向市场化的新型纳米材料——纳米胶囊[J].世界科技研究与发展,2001,23(4):48-50. 被引量：6
6王松有,周鹏,郜小勇,郑玉祥,李晶,杨月梅,陈良尧.Cr-Ag颗粒膜的尺寸效应对光学效应的影响[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):31-34.
7肖晓玲.纳米多层膜的研究进展[J].材料研究与应用,2007,1(1):1-10. 被引量：8
8张以忱.第十一讲:真空材料[J].真空,2002,39(1):48-52. 被引量：1
9庞菲,崔红,李瑞珍.C／C复合材料CVI致密化过程及影响因素研究进展[J].炭素,2011(4):18-22. 被引量：3
10尤晶,顾豪爽,胡永明,胡正龙,周迪.PX相钛酸铅纳米针的水热合成及微观结构研究[J].湖北大学学报（自然科学版）,2008,30(1):50-52.

电子显微学报

1994年第6期

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