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激光扫描显微镜被引量：1

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摘要激光扫描显微镜李银祥，谈正雄（武汉工业大学，武汉４３００７０）１．工作原理激光扫描显微镜的工作原理与扫描电子显微镜相似，它与电镜不同之处是用激光束代替电子束工作。经过聚焦的激光束射到样品上，由样品上的反射光形成图像。在激光扫描显微镜中采用了自动聚焦装...

作者李银祥谈正雄

机构地区武汉工业大学

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第6期516-516,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词激光扫描显微镜聚焦激光束显微镜

分类号 TH742.64 [机械工程—光学工程]

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电子显微学报

1994年第6期

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