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AMRAY－1000B扫描电镜两例故障的分析与检修

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摘要ＡＭＲＡＹ－１０００Ｂ扫描电镜两例故障的分析与检修施同舟，可金星，朱思和（第三军医大学中心实验室，重庆６３００３８）故障一在仪器工作过程中，图像突然消失，但荧光屏上的光栅是正常的；电子束束流也正常，第二天开机图像又恢复正常，但工作约六小时后图像再次消...

作者施同舟可金星朱思和

机构地区第三军医大学中心实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第6期524-524,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词电子显微镜 SEM 故障维修

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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电子显微学报

1994年第6期

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