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EDAX9100能谱仪探头Be窗和Si死层厚度的测量
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摘要
EDAX9100能谱仪探头Be窗和Si死层厚度的测量吉关华,郭世亮(电子部第五研究所,广州510610)在无标样定量计算相对纯元素强度,以及定量分析本底函数过程中,都要使用探测器的效率,而效率直接受Be窗、Si死层和Au层厚度值的影响。在定量计算中运...
作者
吉关华
郭世亮
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1994年第6期511-511,共1页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
能谱
谱仪
探头
铍窗
硅死层厚度
测量
分类号
TH838 [机械工程—精密仪器及机械]
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电子显微学报
1994年 第6期
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