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EDAX9100能谱仪探头Be窗和Si死层厚度的测量

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摘要 EDAX9100能谱仪探头Be窗和Si死层厚度的测量吉关华,郭世亮(电子部第五研究所,广州510610)在无标样定量计算相对纯元素强度,以及定量分析本底函数过程中,都要使用探测器的效率,而效率直接受Be窗、Si死层和Au层厚度值的影响。在定量计算中运...
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第6期511-511,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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