X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

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摘要Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...

作者唐圣明徐梅娣陈思琴林绥娟

机构地区中国科学院上海冶金研究所

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第6期510-510,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词 X射线谱仪能谱薄膜器件刻蚀铁电材料

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电子显微学报

1994年第6期

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