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X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
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摘要
X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明,徐梅娣,陈思琴,林绥娟(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)铝钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O_3,简称PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT薄膜与器件的制...
作者
唐圣明
徐梅娣
陈思琴
林绥娟
机构地区
中国科学院上海冶金研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1994年第6期510-510,共1页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
X射线谱仪
能谱
薄膜器件
刻蚀
铁电材料
分类号
TH838.3 [机械工程—精密仪器及机械]
TM221 [一般工业技术—材料科学与工程]
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电子显微学报
1994年 第6期
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