摘要
进一步提高我国分子束外延技术的探讨孔梅影,梁基本,曾一平(中国科学院半导体研究所北京100083)十多年来,我国的分子束外延(MBE)技术从无到有,并不断改进提高,取得很大的进展。在中国科学院一些单位的共同努力下,我国先后发展了Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ四种型号...
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1994年第1期39-41,共3页
Chinese High Technology Letters
关键词
分子束外延
中国
半导体材料
Integrated optics, SAW interdigital transducer