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碳/碳复合材料快速气相沉积工艺研究──快速定向扩散法 被引量:5

The Study of High--speed Chemical Vapor Depositionfor Carbon-carbon CompositeHigh-speed Directional Diffuse Technology
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摘要 设计出了一种碳/碳复合材料快速气相沉积新工艺,使得碳氢气体能借助于沉积室中的定向扩散装置并通过试样胚体厚度方向上的压力差快速定向扩散到试样胚体内部进行沉积。结果表明:沉积速度快,试样最终密度高而均匀。 y a new technology, carbon hydrogen gases can diffuse quickly and directionally to the inside ofsemifinished sample and deposit there, with the help of directional diffuse equipment in depositional roomand pressure gradient on the thickness of semifinished sample. It is found that depositional speed is veryfast, the desity of sample is high and even.
出处 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1994年第2期19-21,共3页 Chinese High Technology Letters
基金 国家"八五"规划重点预研课题子课题
关键词 定向扩散 气相沉积 复合材料 : High-speed directional diffusion, Chemical vapor desposition, Carbon-carbon composite
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