摘要
采用直流磁控溅射冷凝原位加压方法制备纳米固体钼和氮化二钼,并对其结构和性能进行了初步研究。
Nanostructured Mo and Mo_2N wereprepared by DC magnetron sputtering, condensationin situ compaction. Primary results of theirstructures and preperties were presented.
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1994年第5期416-417,425,共3页
Journal of Functional Materials
基金
国家自然科学基金