检测粗糙表面的干涉仪

检测粗糙表面的干涉仪无论从微观还是宏观上来讲，干涉仪都是测量光学表面形状的有用技术。短波长可见光干涉仪提供了极高的测量灵敏度。可见光干涉仪和计算机处理的相移技术能测量埃（人）量级甚至亚埃量级的表面一高度变化。然而，当测量较大的表面一高度变化和斜率时，...