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“超”技术的展望
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摘要
1.前言 面对21世纪,许多领域有关“超”技术的研究、产品开发活动尤为兴盛。与精密工程学会相关的领域有人们日常所说的超精密、超微细等。此外,有超高真空、超净室、超纯水、超微粒子、超高层楼、超LSI等。最近,日本年轻人当中流行“超疲劳”、“超美味”之说。
作者
杨妹清
出处
《光机电世界》
1994年第2期1-4,共4页
关键词
超精密加工
超精密定位
技术
分类号
TG66 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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10
Mizumoto Hiroshi,罗兵.
采用扭轮摩擦传动的埃级定位系统[J]
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