纳米级蚀刻技术

1.前言 近三年来,动态随机存储器(DRAM)的高密度化和微细化,以三～四倍的速度发展,16M比特的DRAM(最小加工尺寸为0.5～0.6μm)处于批量生产的初期阶段,256M比特的DRAM(最小加工尺寸为0.2～0.3μm)也达到开发阶段,已开始试制其样品。