微型机械技术的研究现状和展望

1.前言 近年来,由于半导体制造技术和扫描显微镜技术的进步,可人工制成微米级立体结构以及由1个1个原子组成的微细结构,总之,从技术来讲,制作肉眼看不见的这种复杂机械正步入可行阶段,即开始所谓的微型机械的研究。微型机械的研究工作,从制作方法(微机械),单元器件(传感器、执行元件、微小机械),到应用实验。