德国微系统工程的进展

近年来发达国家对微系统工程的研究与开发十分活跃。在高新技术领域开拓了一条崭新的道路。从世界范围来看,美国领先,德国随后,我国的研制工作也已起步。各国在这一领域的进展各有特色。现介绍一下德国在这方面的进展情况,以供参考。