摘要
对特种光敏玻璃及其微透镜列阵的成型机理及制作工艺进行了研究。采用六角密排结构，在远紫外线下曝光，问时进行热循环处理，成功制作出直径为４００μｍ、表面凸起高度达９．０μｍ的微透镜列阵。
In this paper,the research of he microlens arrays formation in photosensitive glass is made.The photosensitive glass is exposed using a deep UV light exposure unit and heated through a thermal cycle with a hxagonal closed packed arrangement,a microlens arrays with dismeter of 400μm,sag of 9μm is fabricated in our experiment.
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1994年第3期19-20,共2页
Optical Technique
基金
国家自然科学基金
863高技术计划和国防科工委基金
关键词
光敏玻璃
微透镜列阵
热处理
photosensitive glass,microlens arrays,thermal development.
