摘要
微型机械是一门新兴学科，它的发展十分迅速，本文介绍了微型机械的研究现状，相关理论和技术以及已取得的一些成果。
The micromechnism is a new scientific subject. The progress in this field is extended very quickly.This paper introduce domestic and foreign information,realistic theory and technology,achievements in this field.
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1994年第3期1-5,共5页
Optics and Precision Engineering
基金
国家自然科学基金
关键词
微型机械
技术
相关理论
Micromechanism,Theory, Technology
