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先进的超大规模集成技术

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作者 蒋志
出处 《国际学术动态》 1994年第1期69-71,76,共4页 International Academic Developments
关键词 超大规模集成 DRAM SRAM 深亚微米 金属互连工艺
分类号 TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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国际学术动态
1994年 第1期

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