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光学应用中的离子束技术

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摘要光学应用中的离子束技术离子束技术在光学工业（包括从低损耗高挡反射镜到太阳镜的类金刚石薄膜）中正起着越来越重要的作用。离子束溅射淀积、离子束直接淀积、离子束辅助淀积（反应性和惰性的）和离子束清洗等都是能大大增强光学表面和该表面与材料相互作用性能的过程。...

出处《国外激光》 CSCD 1994年第7期19-21,共3页

关键词离子束薄膜光学镀膜光学应用

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

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国外激光

1994年第7期

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