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蓬勃发展的金刚石薄膜技术
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摘要
蓬勃发展的金刚石薄膜技术余昺鲲(上海科学技术大学)金刚石象征着财富、地位、奢侈已为人们所共知,而今天金刚石却以崭新的面貌在科学、工业、军事各个领域里展示着它新的姿态。特别是近年来人造金刚石薄膜技术引起世界各国广泛的重视,出现蓬勃发展的局面。1.全刚石...
作者
余昺鲲
机构地区
上海科学技术大学
出处
《国外激光》
CSCD
1994年第7期2-5,共4页
关键词
金刚石
薄膜
金刚石薄膜
微电子学
分类号
TN304.180 [电子电信—物理电子学]
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国外激光
1994年 第7期
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