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激光激励型真空计

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摘要 激光激励型真空计在极高真空环境(10-10Pa以下)中存在的原子、分子的数目,即使在10-10Pa的压力下,1mm3中也不过10个左右。下面介绍确能逐个检测稀薄气体中存在的气体原子、分子的激光激励型真空计。将市售的高功率、短波长激光(例如ArF准分子...
出处 《国外激光》 CSCD 1994年第7期32-32,38,共2页
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