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金刚石的精密激光加工 被引量:5

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摘要 金刚石的精密激光加工所有材料中,金刚石比任何已知固体都硬;同时在室温下呈现最高的弹性模量、原子密度、德拜温度和热导率。它有化学惰性,在整个光谱范围高度透明,是一种宽带隙半导体材料,又能适用于高温和高电压的场合。上述特性加上用化学蒸汽淀积生长金刚石薄膜...
出处 《国外激光》 CSCD 1994年第12期31-33,共3页
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