RF偏压电极对微波等离子体的影响
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1卫冰.紫外荧光微波等离子体探针[J].等离子体应用技术快报,1998(9):10-12.
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2Uchid,H,朱晓帆.一种用于电容耦合微波等离子体和电感耦合等离子体—原子…[J].国外核聚变与等离子体应用,1990(5):65-71.
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3刘宇宏,邓新绿,陆文琪.差分发射探针在微波等离子体中的应用[J].核聚变与等离子体物理,1998,18(1):48-51. 被引量:1
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4邱华檀,王友年,马腾才.碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响[J].物理学报,2002,51(6):1332-1337. 被引量:3
-
5马志斌,陶利平,翁国峰,严垒.微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析[J].武汉工程大学学报,2012,34(6):49-52. 被引量:3
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6徐春蕾,董家騄,杨鸿生,孙德坤,杨春.微波等离子体条件下甲烷的偶联反应[J].南京师大学报(自然科学版),2004,27(4):55-58.
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7张继成,吴卫东,唐永建.微波等离子体技术在ICF制靶中的应用[J].强激光与粒子束,2004,16(8):1025-1028. 被引量:2
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8张继成,唐永建,吴卫东.电子回旋共振微波等离子体技术及应用[J].强激光与粒子束,2002,14(4):566-570. 被引量:8
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9张继成,吴卫东.电子回旋共振微波等离子体离子束刻蚀技术[J].中国工程物理研究院科技年报,2003(1):86-87.
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10文允鉴,关维恕,方彦,印永祥.用MW等离子体对聚四氟乙烯表面接枝共聚改性[J].中国核科技报告,1995(1):355-364.
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