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用集成电路法制作微型钨丝灯

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摘要用集成电路法制作微型钨丝灯加州大学伯克利分校的科学家以５０多年历史的老技术为基础，已找到一种制作微型器件的新方法。他们采用集成电路处理法在硅衬底上制成微型灯和电子发射真空二极管。这种技术有几个优点，包括能成批制造，器件结构和形状易于改变，元件紧凑和牢...

出处《国外激光》 CSCD 1994年第1期16-16,共1页

关键词钨丝灯集成电路制造微型

分类号 TM923.312 [电气工程—电力电子与电力传动]

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