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立方氮化硼薄膜的制备工艺
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摘要
本文介绍了几种最新的立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论。
作者
王钧石
机构地区
西南交通大学
出处
《国外金属热处理》
1994年第4期48-51,共4页
Heat Treatment of Metals Abroad
关键词
氮化硼
立方氮化硼
薄膜
制备
分类号
O484 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
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被引量:1
国外金属热处理
1994年 第4期
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