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TiO_2膜的激光化学气相淀积
被引量：
6
Synthesis of TiO_2 Films by Laser CVD
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摘要
ＴｉＯ＿２膜的激光化学气相淀积丁继成，徐铸德（浙江大学化学系杭州３１００２７）应用化学气相淀积（ＣＶＤ）技术淀积薄膜，已广泛应用于半导体、光学、高熔点材料等方面的研究．使用激光作为化学气相淀积的热源有如下明显的优点ｐ且：（回）空间分辨和控制，既可进行...
作者
丁继成
徐铸德
机构地区
浙江大学化学系
出处
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1994年第4期386-388,共3页
化学物理学报（英文）
基金
国家自然科学基金
关键词
二氧化钛膜
激光
化学气相淀积
分类号
O614.411 [理学—无机化学]
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Chinese Journal of Chemical Physics
1994年 第4期
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