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扫描电镜的计算机解耦控制设计
被引量:
3
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摘要
本文设计了以8098单片机为核心的数字控制系统,实现了扫描电镜的解耦控制;并进一步设计了串联非对消解耦控制器和状态反馈即极点配置解耦控制器。本系统具有实际参考价值。
作者
徐立新
庄显义
机构地区
哈尔滨工业大学控制工程系
出处
《基础自动化》
CSCD
1994年第5期27-29,共3页
Basic Automation
关键词
扫描电镜
伺服系统
计算机
解耦控制
设计
分类号
TM921.541 [电气工程—电力电子与电力传动]
引文网络
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牛景汉,信息与控制,1986年,1期
8
梁文宝,硕士学位论文,1996年
9
徐立新,基础自动化,1994年,5期
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基础自动化
1994年 第5期
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