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当代电子技术与机──电一体化被引量：2

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摘要当代电子技术与机──电一体化甘肃省电子计算机办公室张问骅一、九十年代科技的缩影进入２０世纪９０年代以来，时时处处可以听到高新科技的捷报。１９９４年，６″，０．５ｕｍ工艺的超细微加工在半导体工业中已普遍采用；８″０．２５ｕｍ的工艺已能按每月２００００片...

作者张问骅

机构地区甘肃省电子计算机办公室

出处《机械研究与应用》 1994年第4期5-7,共3页 Mechanical Research & Application

关键词微电子技术机电一体化电子技术

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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机械研究与应用

1994年第4期

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