电致伸缩微动工作台匀速运动的实现

运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台水平位移量小于０．１μｍ。