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离子渗氮炉的炉压测量

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摘要 本文首先论述了离子渗氮炉压及其变化的影响因素,接着分析了离子渗氨过程中对炉压测量所产生的各种干扰,还提出了行之有效的离子渗氮炉压测量的技术措施。
出处 《计量技术》 1994年第3期24-26,共3页 Measurement Technique
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参考文献2

  • 1[苏]Μ·Д·葛波维奇 著,万春侯等.等离子体离子源物理与技术[M]科学出版社,1976.
  • 2戴浩.真空技术[M]人民教育出版社,1961.

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