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同步辐射X射线光刻初步实验结果

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摘要光束线由前端、Be窗、激光对准、曝光快门、镜箱、3个VAT气动阀、差分系统、单次曝光机及微机测量控制系统等组成.

作者刘泽文田扬超胡一贯阚娅

机构地区中国科学技术大学国家同步辐射实验室

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期572-573,共2页 Chinese Science Bulletin

关键词同步辐射 X射线光刻光刻 PMMA

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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科学通报

1994年第6期

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