TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性被引量：1

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摘要近20年来,同步辐射光源的迅速发展为软X射线波段提供了性能优良的光源.由于通常的光学反射、透射元件在软X射线波段不能使用,在紫外波段使用的光栅单色器和在X射线波段使用的晶体单色器也由于各自的结构、性质,在软X射线波段的使用受到限制.层厚为纳米量级轻/重元素层(或其他低/高电子密度层)

作者刘文汉伍历文周凌云张裕恒许振嘉

机构地区中国科学技术大学基础物理中心结构分析开放实验室

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期594-596,共3页 Chinese Science Bulletin

基金国家自然科学基金中国科学技术大学结构分析开放实验室资助项目

关键词多层膜热稳定性成膜特点硅钨

参考文献2

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科学通报

1994年第7期

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