小型KrCl准分子激光器的实验研究

Experimental Study of a Small KrCl Excimer Laser

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摘要本文报导了一台小型ＫｒＣｌ准分子激光器的工作性能；其中脉冲能最达５４ｍＪ。并分析了影响ＫｒＣｌ准分子激光器寿命的原因。 The performance of a small KrCl excimer laser with single pulse energy 54mJwas reported.The factors influencing laser gas life time were analysed.

作者施勇张兆平秦玉英王广昌熊旭明马树森

机构地区中国科学院安徽光学精密机械研究所

出处《量子电子学》 CSCD 1994年第1期66-70,共5页

关键词 KrCl 准分子激光器激光器实验 rCl, excimer laser

分类号 TN248.1 [电子电信—物理电子学]

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