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铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究

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摘要铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军，潘佰良，姚志欣，齐仲甫（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是扩散和离子注入法，但装置较复杂，处理步骤多，结厚，不易控制，无法重掺。而激光诱导可利用激光的能量高度集中特性，使半导体表面的极浅层迅...

作者钱育军潘佰良姚志欣齐仲甫

机构地区浙江大学物理系

出处《量子电子学》 CSCD 1994年第2期30-31,共2页

基金国家自然科学基金

关键词铜蒸气激光诱导硅掺硼实验

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

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量子电子学

1994年第2期

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