低压合成金刚石技术综述

化学气相沉积法(CVD)低压合成金刚石技术是一种经济有效的方法,尤其是生产金刚石薄膜和镀层,经济效益更加显著,因此在许多工业先进国家引起了广泛的关注。到目前,CVD技术合成金刚石的方法已经有许多种。 图1示出了用各种CVD技术沉积金刚石的速度变化。同HP—HT机相比,CVD设备造价低、使用和保养费用低、模具费用低、所需功率小等。