摘要
以ＺｎＣｌ２作为蒸发源，采用真空反应蒸发技术制备出具有高透过率和电导率的ＺｎＯ薄膜．对制备薄膜的结构，电学和光学特性进行了测量．
Films of ZnO with high optical transmission and conduction were preparated byeysporating zinc Chloride(ZnCl2) in oxygen.Structure,optical and electrical propertiesof the deposited films were investigated.
出处
《山东大学学报（自然科学版）》
CSCD
1994年第2期230-234,共5页
Journal of Shandong University(Natural Science Edition)
关键词
薄膜
电阻率
氧化锌
反应蒸发法
ZnO fllms
transmission
electrical conductivity
