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高精度低漂移高压电源的研制
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摘要
高精度低漂移高压电源的研制李本功1引言在大规模集成电路中,由于对分辨率和图形相对位置精度要求越来越高,普通的光刻装置由于光的衍射效应的限制已显得无能为力,而迅速掘起的电子束刻划装置却能轻而易举的满足这些要求。但电子束刻划装置的长期稳定性和每次扫描的重...
作者
李本功
出处
《山东电子》
1994年第4期31-33,共3页
Shandong Electronics
关键词
高压电源
低漂移
研制
分类号
TN86 [电子电信—信息与通信工程]
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被引量:1
山东电子
1994年 第4期
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